光刻膠分類分析

光刻膠是由感光樹脂、光引發劑、溶劑三種主要成分和其他助劑組成的對光敏感的混合液體，是通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X 射線等光照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻材料。感光樹脂構成光刻膠的基本骨架，主要決定曝光后光刻膠的基本性能，包括硬度、柔韌性、附著力、曝光前和曝光后對特定溶劑的溶解度；光引發劑對光刻膠的感光度、分辨率等起決定性作用；溶劑用于溶解光刻膠各組成成分，也是后續光刻膠化學反應的介質。

助劑是指根據不同用途添加的顏料、固化劑、分散劑等調節性能的添加劑。

光刻膠種類繁多，根據其化學反應機理和顯影原理，可分為正性光刻膠和負性光刻膠兩類。對顯影液不可溶，經光照后變成可溶物質的即為正性光刻膠；反之，光照后形成不可溶物質的是負性光刻膠，具體如下圖所示：

根據應用領域，光刻膠可分為集成電路光刻膠（可細分為晶圓制造、先進封裝）、顯示面板光刻膠和PCB 光刻膠，其技術壁壘依次降低。PCB 光刻膠是目前國產替代進度最快的產品；顯示面板中LCD 光刻膠替代進度相對較快，OLED 光刻膠仍由國外企業壟斷；集成電路光刻膠目前國產技術較國外先進技術差距較大。