按照組成成分和應用工藝不同可將濕化學品分為通用濕化學品和功能濕化學品兩大類。
通用濕化學品是指在集成電路、顯示面板、光伏行業中被大量使用的液體化學品。主要包括過氧化氫、氫氟酸、硫酸、磷酸、鹽酸、硝酸、氫氧化銨、氟化銨、氫氧化鉀、氫氧化納、甲醇、乙醇、異丙醇、丙酮、丁酮、甲基異丁基酮、乙酸乙酯、氮甲基吡咯烷酮、乙酸(醋酸)、乙二酸等。
進入21 世紀,國際SEMI 標準化組織根據濕化學品在世界范圍內的實際發展情況按品種進行分類,每個品種歸并為一個指導性的標準,其中包括多個用于不同工藝技術的等級。集成電路制造的不同線寬對濕化學品SEMI 國際標準等級的要求如下:
國內目前已掌握G2、G3 等級通用濕化學品技術,少數公司擁有部分G4、G5 產品的生產能力。
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